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防偽膠粘絕緣膜

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防偽膠粘絕緣膜的日常維護要注意哪些方麵?

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防偽膠粘絕緣膜的日常維護要注意哪些方麵?

發布日期:2020-08-05 作者: 點擊:

在日常維護中首先要檢查是否有起皮、裂縫、脫皮現象, 這些現象的出現對溶液的危害是很大的,會把上一道工序中處理時  殘留在此的溶液帶到下一道工序的溶液中去,把下道工序的溶液汙 染了。為此,發現掛具的絕緣膜層發生損傷時就該有針對性地進行修複。否則若這些庇病又恰巧接近與工件的接觸部位,則還有可能影 響到接觸部位鍍層的正常沉積(該處雖無鉻的沉積,但卻會由縫隙中  逸出氣體,從而影響到該處附近工件上鍍層的正常沉積)。當發現局部 處有鉻的沉上時,說明該處絕緣膠已脫落,此時要用機械方法予以去 除,並補上絕緣膠,以免影響該處附近工件上鉻層的正常沉積。

防偽膠粘絕緣膜用材料,絕緣膜用罩光清漆,以及絕緣膜和采用該膜或該清漆的半導體裝置的製作方法。

作為用於半導體的材料,人們按照所需性能以各種不同比例使用無機材料和有機材料。例如,作為用於半導體的絕緣層間膜,使用無機氧化物的膜,例如按照化學氣相沉積法製備的二氧化矽。然而,由於半導體速度提高並且性能更進一步改進,使用無機氧化物膜會產生一個問題,即介電常數太高作為克服這一問題,一種使用有機材料的方法已經展開研究。

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應用於半導體的有機材料是,例如表現出優異耐熱性以及電學和機械性能的聚酰亞胺樹脂。聚酰亞胺樹脂用作阻焊膜,麵層和液晶取向膜。然而,由於聚酰亞胺樹脂在酰亞胺環上具有兩個羰基基團,通常會發現有關吸水性和電學性能的問題。為了克服這些問題,人們已經嚐試了通過將氟或含氟基團引入有機大分子來改進吸水性和電學性能,並且在實踐中已經使用了某些改性的樹脂。聚苯並噁唑樹脂比聚酰亞胺樹脂表現出更優異耐熱性、吸水性和電學性能。人們還嚐試了將聚苯並噁唑樹脂應用到各種領域中。聚苯並噁唑樹脂的例子包括具有衍生自4,4’-二氨基-3,3’-二羥基聯苯和對苯二甲酸的結構的樹脂,以及具有衍生自2,2-雙(3-氨基-4-羥基聯苯)六氟丙烷和對苯二甲酸的結構的樹脂。


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